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Ultra Pure Water Heater


  • Ultra Pure Water Heater 는 반도체와 LCD에 사용하는 유리 기판 및 실리콘 웨이퍼의 세정 효율을 향상시키기 위해 사용하며, 할로겐 램프히터 방식으로 오염물질이 없이Pure Water를 사용하고자 하는 온도로 Heating 하는 장치
  • Compact한 사이즈, 편의성 및 SEMI 인증 적용 제품으로 안전한 운용 및 설치가 용이

UPWH 성능 곡선


ModelUPWH-1280SEUPWH-1880SEUPWH-2480SEUPWH-3680SEUPWH-4880S
Heater

Capacity

48kW72kW96kW144kW196kW

Flow rate

(at 55℃)

12 ℓ/min
18 ℓ/min
24 ℓ/min
36 ℓ/min
48 ℓ/min
Dimension

(W*D*H)

400x1000x1580
400x950x1630
650x1000x1610
700x1000x1810
800x1000x2000
Minimum Flow rate4 ~ 6 ℓ/min8 ~ 12 ℓ/min
DI Inlet Pressure0.3 MPa (Relief pressure 0.27MPa) ▼

Inlet

Power

AC208V, 175AAC208V, 250AAC208V, 350AAC208V, 250A x 2AC208V, 350A x 2


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