코맷-Leak Tray

Leak Tray 개념

Leak Tray 시공은 반도체, LCD 제조 라인에서 Liquid 를 사용하는 장비들을 대상으로 Leak 확산에 의한 약액의 피해를 최소화하기 위해 고안된 기술로 장비 하부 & Access Flour 사이에 설치하여 Line 하부 및 장비 측면으로의 Leak 확산을 방지하기 위한 기술
시공에 필요한 자재는 PVC 등 내약품성 Sealing 자재를 활용
Access Flour 타공 영역에 대해서는 특허 등록된 Hole Patch 기술을 활용
Tray 상부 면적형 Leak Sensor 적용을 통한 신속 감지